Teplota a vlhkost místa na stavební laboratoř se především podřízena požadavkům procesu, ale úroveň lidské pohodlí by měla brát v úvahu při splnění požadavků procesu. Se zlepšením požadavků na čistotu vzduchu byla stále tužší poptávka po teploty a vlhkosti v procesu. Požadavky na konkrétní postup pro teploty budou uvedeny později, ale jako obecnou zásadu, kvůli čím dál jemnější přesnost zpracování, požadavky na rozsah kolísání teploty jsou stále menší a menší.
Například v litografii expozice proces výroby velkých integrovaných obvodů, rozdíl v tepelné roztažnosti mezi sklo a křemíkového plátku jako maska materiál musí být menší a menší. 100 um průměr křemíku oplatka, vzestup teploty o 1 stupeň, to způsobilo lineární expanzi 0.24um, musí mít konstantní teploty ± 0,1 °, zatímco hodnota požadovaná vlhkost je obecně nižší, protože lidé pot, výrobek bude znečištěné, v zejména se bojí sodného polovodičových workshop, workshop teplota by neměla přesáhnout 25 stupňů, problém nadměrné vlhkosti generovány další problémy. Přesahuje-li relativní vlhkost 55 %, budou tvořit kondenzace na stěně chladicí potrubí vody. Pokud se vyskytuje v přesné zařízení nebo obvodu, to způsobí, že různé nehody.
Tlak řád
Pro většinu čisté pokoje je nezbytné zachovat vnitřní tlak (statický tlak) vyšší než vnější tlak (statický tlak) aby se zabránilo vniknutí vnější kontaminace. Údržba tlakové diference by měl obecně splňovat následující principy:
1. tlak čistých prostor je vyšší než tlak-čištění prostoru.
2. tlak na úroveň čistoty je vyšší než tlak sousední nízké čistoty úrovně.
Udržování rozdílu tlaku závisí na množství čerstvého vzduchu, který může kompenzovat dané množství vzduchu z mezery pod rozdíl tlaku. Takže fyzikální význam rozdílu tlaku je odpor vůči úniku (nebo penetrace) když objem vzduchu prochází různé mezery v čistém prostoru.
Rychlost vzduchu předpisy v čistém prostoru
Rychlost proudění vzduchu pro zde probíranou odkazuje na rychlost proudění vzduchu v čistých prostor. Rychlost proudění vzduchu v ostatních čistých je popsána při projednávání konkrétních zařízení.
Pro turbulentní čistý pokoj protože hlavní spoléhat hlavně na zředění vzduchu snížit míru znečištění, koncept počet výměn vzduchu slouží především namísto přímo pomocí pojmu rychlostí, ale existují také následující požadavky na vnitřní rychlosti vzduchu;
(1) rychlost proudění vzduchu na výstupu z výstupu vzduchu by neměla být příliš velká. Ve srovnání s jednoduché klimatizované pokoje, vyžaduje rychlejší útlum rychlost a úhel větší šíření.
(2) rychlost proudění vzduchu (například rychlosti recirkulace v době stranou), který proudí nad vodorovnou rovinou by neměl být příliš velký, aby vyhodit povrchu částice se vraťte do proudění vzduchu a způsobit opětovné kontaminaci. Tato rychlost není obecně doporučeno být větší než 0,2 m/s.
Paralelní tok čisté místnosti "označované jako laminární čistý pokoj", rychlost řezu je velmi důležitým ukazatelem, tím, že píst se používá hlavně pro proudění vzduchu k vyloučení barvení. V minulosti bylo odkázáno na Spojené státy 20gB standardní a 0,45 byl použit. m/s. Ale lidé se také dozvěděli, že množství ventilace pro velké rychlosti je velmi velký. Chcete-li šetřit energii, hledají možnosti snížení rychlosti větru.
V Číně jsou opatření Cleantech vzduchu i normy pro čisté prostory
Vertikální paralelní proudění (laminární proudění) čistý pokoj ≥0.25 m/s
Horizontální paralelní proudění (laminární proudění) čistý pokoj ≥ 0,35 m/s
Potlačení hluku
Normy hluku pro čisté laboratorní konstrukce jsou obecně přísnější než pro ochranu zdraví. Účelem je zajistit, aby operace obvykle prováděny a že jsou splněny nezbytné konverzační kontakt a bezpečné a pohodlné pracovní prostředí. Proto je hlavním ukazatelem hluku v čisté místnosti.
1. vliv problém
Kvůli hluku lidé se cítí nesví a mají potíže s emocemi. Obecně se dělí na velmi tiché, velmi klidné, tiché, mírně hlučné, relativně hlučné a velmi hlučné. Tam, kde je úroveň odpovědí velmi hlučné a velmi hlučné, je vysoká úzkost a procento vysokého počtu trable v celkový počet je míra vysoká úzkost.
2. dopad na efektivitu práce
To závisí především na úrovni reakce ve třech oblastech. Jsou tyto tři aspekty: koncentrace, přesnosti a rychlosti práce;
3. porucha s Integrovaná komunikace